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- Autor
- Herausgegeben von Rainer Behrisch, Beiträge von R. Behrisch, Herausgegeben von Klaus Wittmaack, Beiträge von W. Hauffe, Beiträge von W.O. Hofer, Beiträge von N. Laegreid, Beiträge von E.D. McClanahan, Beiträge von B.U.R. Sundqvist, Beiträge von K. Wittmaack, Beiträge von M.L. Yu
Sputtering by Particle Bombardment III
- Untertitel
- Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications
- Verlag
- Springer Berlin
- ISBN/EAN
- 978-3-662-31104-2
- Preis
- 53,49 EUR
- Status
- lieferbar