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Sputtering by Particle Bombardment III

Autor
Herausgegeben von Rainer Behrisch, Beiträge von R. Behrisch, Herausgegeben von Klaus Wittmaack, Beiträge von W. Hauffe, Beiträge von W.O. Hofer, Beiträge von N. Laegreid, Beiträge von E.D. McClanahan, Beiträge von B.U.R. Sundqvist, Beiträge von K. Wittmaack, Beiträge von M.L. Yu

Sputtering by Particle Bombardment III

Untertitel
Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications
Verlag
Springer Berlin
ISBN/EAN
978-3-662-31104-2
Preis
53,49 EUR
Status
lieferbar